东京计装TOKYOKEISO超声波流量计GST液体超声波流量计详细介绍

东京计装TOKYOKEISO超声波流量计GST

超声波流量计GST，SFC011GS，导波式夹持式超声波流量计，外夹式超声波流量计UCL，SFC

产品介绍

GST/SFC011GS是一种用于小直径管道的外夹式超声波流量计。由于只需夹住现有管子即可测量流量，因此无需管道工程。管道内部几乎保持清洁。
非常适合需要清洁度的工艺，例如半导体制造设备。

检测器：GST
转换器：SFC011GS

特征

夹紧式

流量可以通过简单地捏住现有的管子来测量。由于它
不接触管道内部，它基本上是干净的。

节省能源和空间

1台SFC011GS最多可同时测量6条线路
可连接多台（无需过渡配线）

高速计算

30ms算术处理

调零

通过在测量前进行调零，可以在被测量流体的条件下开始测量。

丰富的功能

7段LED（红色，4位）显示瞬时流量和状态
瞬时流量的各种模拟输出（型号可选）
频率输出（1kHz FS）、错误输出、瞬时流量上限/下限报警、积分流量输出、积分流量上限报警（集电极开路）
可通过RS-485通讯获取参数设置和流量数据

符合标准

EMC标准：CISPR11:2009+A1:2010 Group1 ClassA, EN61326-2-3:2013
符合RoHS2

UCL/SFC是用于 PFA 管道的外夹式超声波流量计。
由于只需夹住现有管子即可测量流量，因此无需管道工程。
管道内部几乎保持清洁。
非常适合需要清洁度的工艺，例如半导体制造设备。

探测器：UCL（大小孔径）
转换器：SFC010C（1CH）、SFC011C（6CH）

特征

夹紧式

流量可以通过简单地捏住现有的管子来测量。由于它
不接触管道内部，它基本上是干净的。

高速计算

调零

通过在测量前进行调零，可以在被测量流体的条件下开始测量。

丰富的功能

7段LED（红色，4位）显示瞬时流量和状态
瞬时流量的各种模拟输出（型号可选）
频率输出（1kHz FS）、错误输出、瞬时流量上限/下限报警、积分流量输出、积分流量上限报警（集电极开路）
可通过RS-485通讯获取参数设置和流量数据

符合标准

EMC 标准：EN61326–1、EN61326–2–3
符合 RoHS2

东京计装TOKYOKEISO一体化超声波流量计UF

一体化超声波流量计UF，紧凑型超声波流量计UCF006，集成小流量传感器的超声波流量计UCM-04A，UCM-06A

产品介绍

UF是一种传感器集成超声波流量计，带有显示器，使用直 PFA 管。
它支持超纯水、纯水和水流控制的广泛应用。

特征

能够测量高达150L/min的流量

提供 1/2"、3/4" 和 1" PFA 管尺寸。

干净的结构

测量管使用市售的 PFA 管。它具有不需要焊接和不积液的结构。

高度可靠的流量检测方式

采用成熟的超声波方法。
它没有移动部件，不需要定期维护。

低压降

完全笔直，几乎没有压力损失。

测量范围广

量程比 100:1（1% 低截止设置）

180°C 可旋转显示器

3种输出信号类型的阵容

可根据应用选择输出。

电流输出+2集电极开路输出型

DC 4–20 mA 输出
2 个集电极开路输出（警报或频率）

电流输出+通讯型

DC 4–20 mA 输出

RS485 通信（Modbus 协议）

集电极开路输出+通讯型

1路集电极开路输出（报警或频率）
RS485通讯（Modbus协议）

符合标准

EMC：符合 EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013 RoHS2

UCF006 是一款紧凑型超声波流量监测器。通过在流量测量部分采用直线结构，显着降低了流体中气泡的影响，这是半导体工艺中的一个问题。另外，由于是直管，几乎没有压力损失，可以减少管路中的压降。此外，通过提高时间分辨率和加快信号处理速度，与传统产品相比，低流量范围内的测量稳定性得到了提高。非常适合需要清洁度的工艺，例如半导体制造设备。

特征

大大提高了抗气泡性

如果液体中混入气泡，超声波的传播就会受到阻碍，流量测量就会变得不稳定。本产品通过将流量测量部分做成直线结构，成功地提高了流量测量的稳定性。

压力损失小

直管几乎无压力损失，减少管路压降

节省空间

通过集成检测器和转换器实现节省空间

符合标准

EMC：符合 EN61326-1:2013
RoHS 标准

UCM-04A/06A是一款小口径超声波流量计，可以高精度、稳定地测量超纯水和各种化学品的流量。
通过将检测器和转换器一体化，可实现大幅小型化和省空间化，另外，在正面显示7段流量和LED条形图，因此即使在现场也可以确认流量。所有接液部件均由用于半导体行业的模压 PFA 制成，具有理想的清洁结构，没有容易积聚液体的移动部件或密封件，非常适合半导体设备等需要清洁度的工艺。流量计的入口和出口是标准尺寸的管子，可以连接到各种 PFA 接头。它可以轻松连接到仅用于简单流量监控的过程。

特征

转换器和检测器为一体结构，配管和配线非常容易。

节省空间

仪表正面的 7 段 LED 条形图使您即使在黑暗的地方也可以检查流量。

可使用专用配置软件更改报警输出等参数设置。

内置理想清洁结构的检测器

磁铁调零

通过RS-485通讯进行参数设置

符合 RoHS 标准

主要用途

半导体制造设备过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

最适用于中小直径过程液体流量测量
清洗设备的流量测量和控制

液体超声波流量计UCUF-E系列东京计装TOKYOKEISO

液体超声波流量计UCUF-E系列，UCUF-K系列

产品介绍

UCUF-E系列液体超声波流量计专为测量超纯水和各种化学液体的小流量而设计，由UCUF-E型检测器和SFC型转换器组成。
UCUF 型检测器的所有接液部件均采用半导体行业用 PFA 制成，没有活动部件，也没有
O 形圈等容易积液的机械密封。由于其理想的清洁结构，该流量计非常适用于要求高清洁度的过程，例如半导体设备。
SFC 型转换器***降低了流体中含有的气泡的影响，这曾经是半导体工艺、化学液体工艺等中的一个问题。配备消除流体动力粘度影响的修正功能，支持各种类型的化学品。通过 RS485 通信功能可以集中控制过程。

特征

EMC标准：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 标准

采用带连接器结构的可拆卸传感器电缆

测量运动粘度高达 40 mm?/s 的高粘度流体

指示值±1%以内的精度（流速1m/s以上时）

宽量程（100:1 典型值）

具有理想清洁结构的探测器

耐腐蚀且易于安装

主要用途

半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

CMP 浆料流量测量

其他中小口径过程液体流量测量

最适用于清洗设备和 CMP 设备的流量测量和控制

UCUF-K系列液体超声波流量计是为测量超纯水和各种化学液体的小流量而设计的，由UCUF-K型检测器和SFC型转换器组成。UCUF 型检测器的所有接液部件均采用半导体行业用 PFA 制成，没有活动部件，也没有 O 形圈等容易积液的机械密封。由于其理想的清洁结构，该流量计非常适用于要求高清洁度的过程，例如半导体设备。

特征

EMC标准：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 标准

测量运动粘度高达 40 mm?/s 的高粘度流体

指示值±1%以内的精度（流速1m/s以上时）

宽量程（100:1 典型值）

具有理想清洁结构的探测器

耐腐蚀且易于安装

主要用途

半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

CMP 浆料流量测量

其他中小口径过程液体流量测量

最适用于清洗设备和 CMP 设备的流量测量和控制